光源裝置/圖像計測裝置廠家REVOX（相模原市）開發(fā)出一款以微米（um)為單位的自動檢出裝置“Makros-Cf"。該裝置憑借共焦點顯微鏡裝置可自動檢出對象物的傷痕、劃痕等缺陷。

在對有機EL Display等大型產(chǎn)品的表面高速捕捉、讀取圖像后，可自動分析出來傷痕的大小、深度等。

該產(chǎn)品采用特殊的光學Sensor，通過光的變化識別傷痕，通過共焦點鏡頭測定傷痕的大小、形狀、深度。即使復雜的劃痕、傷痕也可**到微米（um）進行測量、通過連接LAN電腦，將傷痕圖像擴大顯示。

以往的檢查機僅會進行整體圖像檢查，顯示傷痕的位置。檢查工程的省力化、時間縮短。

采用特殊構造，可吸收測定臺在測定對象在移動時的產(chǎn)品震動，在半導體等檢查、不打亂無塵室內的空氣流進行清潔、維護有優(yōu)勢。

已經(jīng)有銷售到半導體、汽車、馬達、醫(yī)療器械等領域。